荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

產(chǎn)品介紹：

ISTEQ公司開(kāi)發(fā)了一種基于激光產(chǎn)生等離子體（LPP）的EUV光源。該光源具有極高的亮度和極高的穩(wěn)定性。它采用可自刷新的材料，無(wú)需中斷和更換燃料盒，因此持續(xù)運(yùn)行時(shí)間極長(zhǎng)。

ISTEQ公司為L(zhǎng)PP光源開(kāi)發(fā)的燃料是針對(duì)特定應(yīng)用的光譜范圍而設(shè)計(jì)的。然而，對(duì)于掩模檢查的應(yīng)用，公司開(kāi)發(fā)了一種高頻錫旋轉(zhuǎn)靶，已在全球范圍內(nèi)獲得。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

·高亮度以及出色的穩(wěn)定性

·少的碎片

·極高的正常運(yùn)行時(shí)間

·高占空比和交鑰匙操作

·用戶友好的自動(dòng)化協(xié)議，確保系統(tǒng)平穩(wěn)運(yùn)行，沒(méi)有中斷的風(fēng)險(xiǎn)。

TEUS 系列激光等離子體光源